合源洁净室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的是不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。
从另一角度看,洁净室之定义,亦可以洁净度等级之不同而定义:即洁净度1级(Class 1)意表每立方英尺室内之口气所含有大或等于0.5μm(10ˉ6m)之灰尘粒子不超过1颗;洁净室10级则为不超过10颗,洁净室100级,1000级……依此类推。我们可以一间式表示之即Class1:≦1pc/ft3(@≧0.5μm),Class 10:≦10pcs/ft3(@≧0.5μm) ……。
由此上之定义,我们可知构成洁净室须具备以下之各项因素:
1.能除去空气中漂游之微尘粒子。
2.能防止微尘粒子之产生。
3.温度和湿度之控制。
4.压力之调节。
5.有害气体之排除。
6.结构物与隔间之气密性。
7.静电之防制。
8.电磁干扰之预防。
9.安全因素之考虑。
10.节能之考虑。
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